Ares_1008L是一種基于鐵氧體磁芯的等離子體源，配備可變頻率電源。Ares_1008L的工作原理是通過將氣體輸送到裝置中，利用電場(chǎng)或者磁場(chǎng)在真空環(huán)境下反應(yīng)產(chǎn)生等離子體，然后將等離子體傳輸?shù)叫枰幚淼谋砻鎱^(qū)域，用于周期性清潔、薄膜和涂層沉積的主處理室。其主要特點(diǎn)有：
1、高功率穩(wěn)定輸出：提供穩(wěn)定的等離子體源，確保處理效果一致
2、遠(yuǎn)程控制：支持遠(yuǎn)程操作和監(jiān)控，可通過軟件實(shí)時(shí)查看運(yùn)行參數(shù)
3、多種氣體兼容性：能夠處理多種氣體，適應(yīng)不同工藝需求
4、緊湊設(shè)計(jì)：設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，便于現(xiàn)場(chǎng)安裝和維護(hù)
5、安全保護(hù)功能：內(nèi)置多種安全保護(hù)機(jī)制，確保設(shè)備和操作人員安全